晶盛机电
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浙江晶盛机电股份有限公司创建于2006年，于2012年上市。
晶盛机电围绕硅、蓝宝石、碳化硅三大主要半导体材料开发一系列关键设备，并延伸至化合物衬底材料领域，为半导体、光伏行业提供全球颇具竞争力的高端装备和高品质服务。
晶盛机电是全球光伏装备技术前沿和规模前沿的企业，国内集成电路级8-12英寸大硅片生长及加工设备先导企业，公司大尺寸蓝宝石晶体生长工艺和技术具备强大的竞争力，是掌握核心技术和规模优势的龙头企业。公司为半导体产业、光伏产业和化合物衬底产业提供智能化工厂解决方案，满足客户数字化智能化的生产模式需求。
| 专利号/专利申请号 | 专利名称 | 专利详情 |
| CN201720189557.3 | 一种全自动单晶硅磨面倒圆一体机加工设备 | 详情 |
| CN201720026897.4 | 一种用于蓝宝石晶片多线切割机的断线检测装置 | 详情 |
| CN201720040750.0 | 带有抽真空系统的平板式PECVD工艺腔 | 详情 |
| CN201120277027.7 | 气致冷多晶硅铸锭炉的闭式冷却系统 | 详情 |
| CN201630120626.6 | 金刚线单晶硅棒切磨一体机（WCG700-ZJS） | 详情 |
| 标准号 | 标准名称 | 发布日期 | 实施日期 | 标准详情 |
| GB/T 40577-2021 | 集成电路制造设备术语 | 2021-10-11 | 2022-05-01 | 详情 |
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