据塔铭记载:塔创建于唐乾符四年(877),距今已有一千多年的历史。塔平面呈正方形,通高6.5米,边长2.21米,单檐单层五迭四注式,覆钵尖锥顶。通体由塔基、塔座、塔身、塔檐、塔刹五部分组成。整体比例匀称,轮廓秀美。方形塔基为仿木构建筑框架凿造,四面枋柱交错,贯以铁质铆钉,周饰倚柱、立旌和横钤,西角柱顶端雕刻凸起的兽头,伸出颈项,支撑全塔。塔基上为束腰须弥式塔座,上下三层叠涩,束腰部分每面雕刻壶门四个,门内剔地凸起雕石狮十六躯,狮身周系环花草绫带。这些狮兽,或蹲卧,或静立,或跳跃,形态各异生动活泼。与五台山佛光寺唐代经幢壶门内镌刻石狮如出一辙。塔身中空,南壁中央辟长方形洞,顶端为火券。门龛两侧分别雕刻守门金刚像1尊,身着盔甲,足蹬飞云,手执宝剑和金刚杵等法器,造型丰满,气势威猛。门顶半圆形券面上浮雕伎乐天3躯,活泼俊逸,婀娜多姿。门窗之上浮雕垂幔纹样,每根角柱上刻有卷草文,宝相花、龙串富贵,化生童子等人物花卉等线刻花纹图案,精致流畅,庄重美观。塔室内设方形小屋,四壁素面无雕饰。中央刻置一仰莲状覆盆式基座,可能是放置死者遗像或遗骨之基托。室顶刻有平阁天花,图案清晰,规范考究。塔身上覆以石雕屋顶,塔檐四注式。檐下在凸起的方框中刻出龟背锦,再上雕刻额枋、椽飞,四翼微向上翘,檐上雕刻瓦垅、戗脊。塔顶高耸,雕成山花蕉叶和仰覆莲、半开莲形状。由下而上由四层雕刻组成,逐层收缩,每层均由束腰、山花蕉叶和覆钵构成。顶端以锥形宝珠收刹。雕工精细,完好无损。在国内已知的唐代石塔中,整体保存完好者,以此为较佳。
在塔的背面镶嵌有五代后唐长兴三年(929年)的铭记。记载了明惠大师一段轶事。谓之唐乾符四年,他住持海慧院时,一天有人报告说:“保广要杀大师”。师云:“吾久于生死心不怖焉,若被所诛,偿宿债矣”。是年正月十三日,大师果然被杀。他死后,由弟子崇职等捧舍利,奉潞州节度使之命建塔葬之。
明惠大师塔,全由石质雕造。总体造型仿照木构建筑,均采用柱枋椽飞等构件和破直棱窗的做法,与长子法兴寺燃灯塔一样,是研究我国唐代建筑技术和雕刻艺术及为珍贵的实物遗存。其造型优美,精巧华丽,形制典雅。高宽比例适度,雕刻内容丰富,细部装饰雅致,雕刻技艺纯熟,虽非巨构,但艺术价值极高,被美术界权威人士视为唐代石塔建筑中的珍品和独特范例。