光学3d轮廓测量仪是什么 光学3d轮廓测量仪的参数有哪些

本文章由注册用户 知识百宝箱 上传提供 评论 发布 纠错/删除 版权声明 0
摘要:各行业技术的快速更新换代,对检测仪器企业提出了更高的要求。其中光学3d表面轮廓仪也叫白光干涉仪,是目前三维形貌测量领域高精度的3D三维测量仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。接下来本文将简单介绍光学3d轮廓测量仪是什么以及光学3d轮廓测量仪的参数有哪些,一起到文中来看看吧!

一、光学3d轮廓测量仪是什么

光学3d轮廓测量仪也叫白光干涉仪,是目前三维形貌测量领域高精度的3D三维测量仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。光学3d轮廓测量仪是以白光干涉测量技术为基础而研发生产的,采用的是非接触式光学测量,在获得实时数据的同时,不会对产品造成任何损伤,从而有效节约了生产成本,提高了生产效率,并且在线检测,没有滞后性,从而减少不合格品,对表面缺陷检测亦如此。

在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了光学3d轮廓测量仪,其它仪器达不到检测的精度要求。

光学3d轮廓测量仪的优点:

1、非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件。

2、测量速度快,不必像探头逐点进行测量。

3、不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置。

4、对高深宽比的沟槽结构,可以快速而精确的得到理想的测量结果。

二、光学3d轮廓测量仪的参数有哪些

1、Z向分辨率:0.1nm

2、横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

3、粗糙度RMS重复性:0.1nm

4、表面形貌重复性:0.1nm

5、台阶测量:重复性:0.1%;准确度:0.75%

6、主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效。

网站提醒和声明
本站为注册用户提供信息存储空间服务,非“MAIGOO编辑”、“MAIGOO榜单研究员”、“MAIGOO文章编辑员”上传提供的文章/文字均是注册用户自主发布上传,不代表本站观点,版权归原作者所有,如有侵权、虚假信息、错误信息或任何问题,请及时联系我们,我们将在第一时间删除或更正。 申请删除>> 纠错>> 投诉侵权>> 网页上相关信息的知识产权归网站方所有(包括但不限于文字、图片、图表、著作权、商标权、为用户提供的商业信息等),非经许可不得抄袭或使用。
提交说明: 快速提交发布>> 查看提交帮助>> 注册登录>>
相关推荐
便携式三坐标测量仪使用方法是什么 三坐标测量仪使用注意事项有哪些
三坐标测量仪三轴均有气源制动开关及微动装置,可实现单轴的精密传动,数据采集系统采用高性能手动三坐标专用系统,可靠性好。应用于产品设计、模具装备、齿轮测量、叶片测量机械制造、工装夹具、汽模配件、电子电器等。下面来介绍下三坐标测量仪使用方法、三坐标测量仪使用注意事项。
二次元影像测量仪原理是什么 二次元影像日常操作中的注意事项有哪些
二次元影像测量仪是将传统的光学投影和计算机完美结合的产物。它能快速读取光学尺的位移数值,通过建立在空间几何基础上的软件模块运算,瞬间得出所要的结果;并在屏幕上产生图形,供操作员进行图影对照,从而能够直观地分辨测量结果可能存在的偏差。二次元影像测量仪原理是什么?二次元影像日常操作中的注意事项有哪些?一起到文中来看看吧!
尺寸测量仪器清洁方法是什么 尺寸测量仪器的保存条件有哪些
作为我们日均使用频率较高的检测设备-尺寸测量仪器,它既耐用但又要我们时常呵护,否则时间久了会闹点小情绪,因此,正确的清洁方式,妥善地保存,对于保证仪器的精度,延长其使用年限具有极其重要的意义,在使用时,我们需要留意尺寸测量仪器清洁方法是什么以及尺寸测量仪器的保存条件有哪些,一起到文中来看看吧!
转子流量计工作原理 转子流量计使用方法与故障处理
转子流量计是工业上和实验室最常用的一种流量计,是基于浮子位置测量的一种变面积流量仪表,是根据节流原理测量流体流量的,但是它是改变流体的流通面积来保持转子上下的差压恒定,故又称为变流通面积恒差压流量计,也称为浮子流量计。下面,来了解下转子流量计工作原理、转子流量计使用注意等知识。
一键式图像尺寸测量仪的优势有哪些 一键式图像尺寸测量仪使用需要注意什么
图像测量仪是一款全新的快速高效的一键式尺寸测量仪。采用双远心光学镜头结合高分辨率相机,搭载高精度图像分析系统,融入一键闪测原理,真正实现一键式快速测量。接下来本文将简单介绍一键式图像尺寸测量仪的优势有哪些以及一键式图像尺寸测量仪使用需要注意什么,一起到文中来看看吧!