光学3d轮廓测量仪是什么 光学3d轮廓测量仪的参数有哪些

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摘要:各行业技术的快速更新换代,对检测仪器企业提出了更高的要求。其中光学3d表面轮廓仪也叫白光干涉仪,是目前三维形貌测量领域高精度的3D三维测量仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。接下来本文将简单介绍光学3d轮廓测量仪是什么以及光学3d轮廓测量仪的参数有哪些,一起到文中来看看吧!

一、光学3d轮廓测量仪是什么

光学3d轮廓测量仪也叫白光干涉仪,是目前三维形貌测量领域高精度的3D三维测量仪器之一。在同等放大倍率下,测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。光学3d轮廓测量仪是以白光干涉测量技术为基础而研发生产的,采用的是非接触式光学测量,在获得实时数据的同时,不会对产品造成任何损伤,从而有效节约了生产成本,提高了生产效率,并且在线检测,没有滞后性,从而减少不合格品,对表面缺陷检测亦如此。

在一些纳米或者亚纳米级别的超高精度加工领域,除了光学3d轮廓测量仪,其它仪器达不到检测的精度要求。

光学3d轮廓测量仪的优点:

1、非接触高精密测量,不会划伤甚至破坏工件。

2、测量速度快,不必像探头逐点进行测量。

3、不必作探头半径补正,光点位置就是工件表面测量的位置。

4、对高深宽比的沟槽结构,可以快速而精确的得到理想的测量结果。

二、光学3d轮廓测量仪的参数有哪些

1、Z向分辨率:0.1nm

2、横向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

3、粗糙度RMS重复性:0.1nm

4、表面形貌重复性:0.1nm

5、台阶测量:重复性:0.1%;准确度:0.75%

6、主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效。

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