扫描电镜的分辨率是多少 扫描电镜的分辨率受哪些因素影响

一、扫描电镜的分辨率是多少

扫描电镜最主要的特征就是其分辨率高，景深长，那么具体的扫描电镜的分辨率是多少呢？

扫描电镜具有很高的分辨率，普通扫描电镜的分辨率为几纳米，场发射扫描电镜的分辨率可达1nm，已十分接近透射电镜的水平。

光学显微镜只能在低倍率下使用，而透射电镜只能在高倍率下使用，扫描电镜可以在几倍到几十万倍的范围内连续可调，弥补了从光学显微镜到透射电镜观察的一个很大的跨度，实现了对样品从宏观到微观的观察和分析。

二、扫描电镜的分辨率受哪些因素影响

前文已经简单了解了扫描电镜的分辨率，那么你知道扫描电镜的分辨率受哪些因素影响吗？

主要影响因素：

1、扫描电子束斑直径

一般认为在理想的情况下，扫描电镜的分辨率不可能小于扫描电子束斑直径，故束斑直径越小，电镜的分辨本领越高。束斑直径主要取决于电子光学系统（电子枪等）。

2、入射电子束在样品中的扩展效应

例如不同的入射电子能量导致作用区域不同，高加速电压时，入射电子能量高，作用深度大，不同深度的信号叠加，无法清晰地表征材料最表面细节；低加速电压时，入射电了能量低，作用深度浅，提高了空间分辨率。

3、成像所用信号种类

也是主要与信号本身的能量和信号取样的区域范围，以二次电子为调制信号和以背散射电子就不一样，后者分辨率低于前者。