一、石英坩埚由什么材料制成
石英坩埚的主要成分是二氧化硅(SiO2),重量百分比约为99.9%以上。石英玻璃还含有微量的其他金属元素,如铝、钠、铁、钙和镁等。因此,尽管石英坩埚也被称为石英玻璃坩埚,但其主要成分并不是三氧化二铝(Al2O3)。
二、石英坩埚制作流程
1、首先,选用尤尼明高纯石英砂作为主要原料。石英砂经过严格的筛选和清洗,确保其纯度和质量。
2、接着,将处理过的石英砂放入高纯石墨模具内,利用真空技术进行装料和成型。通过这一过程,石英砂被压制成型,形成初具规模的石英坩埚雏形。
3、接下来,使用真空电弧熔制技术对石英坩埚进行加热熔化,这一过程需要在极低的氧分压下进行,以避免杂质的混入,确保石英坩埚的高纯度。熔化后的石英材料经过自然冷却,待其完全凝固后进行脱模处理,得到初步的石英坩埚。
4、然后,对初步制成的石英坩埚进行初步检测,确保其形状、尺寸和质量符合标准。接下来,进行冷加工,包括喷砂、切断、倒角等步骤,以提高石英坩埚的表面质量和内部结构的均匀性。之后,再次进行石英坩埚的检测,确保其各项性能指标达到要求。
5、清洗环节是确保石英坩埚质量的关键步骤,包括超净清洗、超声波清洗、高压喷淋和自动烘干等,这些清洗方法可以有效去除石英坩埚表面和内部的杂质和污染物,确保其清洁度和纯度。
6、最后,对石英坩埚进行加温烘烤,以进一步去除残留的水分和其他杂质。之后,进行表面喷涂处理,以提高石英坩埚的耐磨性和耐腐蚀性。完成这一系列步骤后,进行第三次检验,确保石英坩埚的各项性能指标均达到标准要求。
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