1968年,毕业于中国科学技术大学化学物理系毕业。
1968年 - 1971年,在兰州炼油厂工作。
1973年,转到中科院兰州物理化学所工作。
1978年 - 1980年,在北京大学化学系攻读硕士学位。
1980年,前往加利福尼亚大学洛杉矶分校留学。三年半后,获得物理化学博士学位。
1984年起,在硅谷工作,在Intel公司中心技术发展部门从事电浆蚀刻工作。
1986年,转到LAM研究所工作,历任高级工程师、技术发展经理。
1991年,曾任Applied Materials应用材料公司副总裁,负责等离子体刻蚀部门的业务。另外,参与成立硅谷中国工程师协会,担任第一、二任主席。
2004年,在上海创办中微半导体设备公司,担任公司董事长兼总裁。
2021年,担任中微半导体公司总经理。
2012年,荣获上海市“白玉兰纪念奖”。
2020年08月,位列“2020福布斯中国最佳CEO榜”第30位。