扫描电子显微镜主要成像信号有哪几种 扫描电镜的主要参数有哪些

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摘要:扫描电子显微镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。具有景深大、分辨率高,成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。接下来本文将重点介绍扫描电子显微镜主要成像信号有哪几种以及扫描电镜的主要参数有哪些,一起到文中来看看吧!

一、扫描电子显微镜主要成像信号有哪几种

扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。那么你知道扫描电子显微镜主要成像信号有哪几种吗?

1、对于形貌成像:主要信号是二次电子,背散射电子也有使用。吸收电流成像,是比较特殊的应用,往往用于专门材料检测。

2、对于成分分布成像:背散射电子,阴极荧光,元素特征X射线等。

二、 扫描电镜的主要参数有哪些

扫描电镜主要参数:分辨率、放大倍数、景深。

1、分辨率

分辨率是扫描电镜最主要的性能指标,对成像而言,它是指能分辨两点之间的最小距离;对微区成分分析而言,它是指能分析的最小区域。扫描电镜的分辨率通过测定图像中两个颗粒(或区域)间的最小距离来确定的,测定的方法是在已知放大倍数的条件下,把在图像上测到的最小间距除以放大倍数所得数值就是分辨率。

2、放大倍数

当入射电子束做光栅扫描时,若电子束在样品表面扫描的幅度为As,在显光屏上阴极射线同步扫描的幅度为Ac,则放大倍数可表示为M=Ac/As。

由于荧光屏的尺寸是不变的,因此,放大倍数的变化只要通过改变电子束在样品表面的扫描幅度As来实现。

目前商品化的扫面电镜的放大倍数可以从20倍到20万倍之间连续调节。

3、景深

景深是指透镜对高低不平的样品各部位能同时聚焦成像的能力范围,这个范围用一段距离表示。

如果景深为Ds,只要样品表面高低范围值小于Ds,则在荧光屏上就能清晰地反映出样品的表面形貌。正是由于扫描电镜景深大,特别适用于粗糙表面和断口的分析观察;图像富有立体感、真实感、易于识别和解释。

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